真空碳化炉腔体加工要点
真空碳化炉中为了减小腔体内壁的外表积,一般用喷砂或电解抛光的办法来取得平整的外表。真空炉中超高真空体系的腔体,更多的是利用电解抛光来进行外表处理。
超高真空腔体的氩弧焊接,原则上有必要选用内焊,即焊接面是在真空一侧,避免存在死角而发作虚漏。真空碳化炉中真空腔体不允许表里两层焊接和两层密封。
真空腔体的内壁外表吸附很多的气体分子或其他有机物,成为影响真空度的放气源。为实现超高真空,要对腔体进行150~250℃的高温烘烤,以促使材料外表和内部的气体尽快放出。烘烤办法有在腔体外壁环绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐子中。比较经济简略的烘烤办法是使用加热带,加热带的外面再用铝箔包裹,避免热量散失的同时也可使腔体均匀受热。
不锈钢是现在超高真空体系的主要结构材料。其间300系列不锈钢(表1)是含Cr10%~20%的低碳钢,具有优秀的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270~900℃工作等长处,在高真空和超高真空体系中,使用广泛。
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