真空炉的真空工程设计几要素

真空炉的真空工程设计几要素

粗抽泵或粗抽泵组是从火气压下•将真空室抽到主泵能达到启¥ * *的其空泵或者真空 机组。选择粗抽泵或系组•首先考虑汕蒸气足否构成活染，其次是其空至的容积及允许的粗 抽肘间。若真空室工作状态对油蒸气敏感，需要考虐在粗抽泵进气口设置阱来捕获油蒸气， 或者用无油干泵作为粗抽泵。

① 真空计的选择。直空计根据极限压力、工作压力、气体成分、测量精度等要求来选 择。真空计的布点应能代表真空装置最关心位置的真空度。

② 确定真空抽气管路。主抽气管路设计，包括选择主阀、障板、阱等。粗抽与前级管 配置.包括油捕集器、过滤器、粗抽泵排气口油雾捕集器、消声器、各种阀门等。这些管路 元件是按需要选择的，各类真空装置要求不同，配置亦不同。

根据管路中各种管道及元件计算出流导值是否满足设计要求。管道的选择遵循粗而短的 原则。一般来讲.管道的直径与真空泵入口直径相当。

③ 真空泵选型。真空泵的种类依据④的原则确定后，尚需根据极限压力、工作压力、 抽气时间、管路流导等因素，计算真空泵的抽速，确定主泵型号，并配置前级泵、粗抽泵， 以及确定管路中各种真空元件，绘制真空系统抽气原理图。

④ 真空材料的选择。真空炉的真空系统中使用的材料主要包括两类，即壳体材料及密封材料。真空炉的 真空室及管路所用材料称为壳体材料，而各种静密封及动密封材料统称为密封材料。无论是 壳体材料，还是密封材料，选择的主要依据是真空装置的真空度。超高真空装置，壳体材料 必须用不锈钢，而密封材料选择金属材料。高真空装置，壳体材料用不锈钢或者碳钢均可 以，主要考虑生产工艺过程产生的气体是否对材料有腐蚀。通常选用不锈钢或碳钢镀镣，或 其他涂敷工艺。密封材料选择橡胶密封。低真空装置选择材料主要考虑被抽气体是否有腐蚀 性问题。

真空管路的粗抽管道及前级管道，_般选择无缝钢管,而高真空管道材料与真空室壳体 材料相同。

⑤ 真空检漏。真空炉内真空室的漏率控制非常重要，在真空系统设计时，需要统一考虑，特别 是大型真空系统，倘若考虑不周，可能出现局部焊缝无法检测。真空系统检漏包括制订检渝 方案、检漏仪器选择、检漏方法确定，以及加工过程中不同工序的检漏，最终给出评价 结果Q

真空室及管路、元件所需漏率根据真空度要求确定，只要能满足工作压力、极限压力及 本底压力即可，无需要求过高，否则将增加无谓的制造成本。 一.

⑥ '焊接方法选择。依据壳体材料及其空装置所需真空度选择焊接手段真空容器" 通常采取内焊缝，有利于清洗，不会形成死空间，有利于抽骂

冷/真洁籍非中各利'元件均需经过机械加匚在加工中会受到润/ 誓液、汗痕，以及环境的污染。为了获得预期的其空度，必须采用不同方法进行清m 处理G