真空烧结炉中扩散泵的运行流程

真空烧结炉中扩散泵的运行流程

1、扩散泵的开启

真空烧结炉中扩散泵开启按下述操作顺序（供参考）。

① 扩散泵泵体通水冷却，然后用油封真空泵同时抽扩散泵的泵体及真空室。

       ② 当泵体内的压力小于lOOPa后，再接通扩散泵加热真空烧结炉中的电源，使泵体内的油加热。 因为油在高温下易氧化，即便使用高抗氧化性硅油，也不宜在高压力气氛中加热。

扩散泵的预热时间因泵大小而异。一般口径400mm以下的泵，加热时间15〜60min； 口径大于400mm的泵，加热时间80〜240min。

       ③ 当真空烧结炉中真空室内压力低于O.lPa以后，便可打开扩散泵进气口主阀，扩散泵进行抽气， 直到达到工作压力。这种抽气系统，当使用时间长了以后，油封真空泵的极限压力会降偏 将导致粗抽真空室压力达不到O.lPa, 一般可以进入1〜5Pa。此时开启扩散泵抽真空室也 可以。如果用罗茨泵-油封真空泵作为粗抽机组，很容易达到扩散泵的启动压力O.lPa，宥 以大大缩短粗抽时间。

值得注意的是，在0. l~10Pa之间，无论油封真空泵，还是扩散泵，返流均最大。为避免出现最大返流，可以选择真空室抽到i5Pa左右，关闭粗真空阀，打开商真 空阀（主阀），启动扩散泵抽气。刚开启阀门，可能会造成扩散泵一级喷口瞬间过载，但役 快会恢复正常工作。

2、扩散泵停机

扩散泵停机顺序如下。

① 关闭真空计，切断真空烧结炉中炉加热电源，关闭主阀。 

        ② 油封真空泵，继续对扩散泵泵体抽气，目的有两个.其一防止油蒸气返流；其提 使扩散泵的高温油处于真空气氛不被氧化。抽气时间因泵大小而异小泵需加山护 大泵 60~120min_o

    ① 当油温降到50〜60°C时，可以停掉扩散泵的冷却水。

   ② 油封真空泵停止工作，电磁放气阀给泵放气，使泵腔内处于大气压状态。• 无论是工业生产扩散泵真空抽气系统，还是试验用抽气系统，扩散泵停机后，均需要保

持泵腔体内为真空状态，有利于扩散泵的再启动，以及防止真空烧结炉中泵腔内被污染。