干式螺杆真空泵在石墨烯高温真空烧结炉的应用

干式螺杆真空泵在石墨烯高温真空烧结炉的应用

日前各种真空泵的发展恵米恵安到具空心用场合ド影川,石墨烯高温真空烧结炉中一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐的西龙,因此近年来干式具空泉市功需冰重限大,具空狱得广品巳经出现更新换代的局面,石墨烯高温真空烧结炉中大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几平母一家牧大的具空公司都生产各种不同型式的干式真空岬杆真空泵属于非接触型十式泉,走20世纪90年代利期田地的一种理想的泵种,以其抽速范围宽,结构佑的紧凑,抽气腔元件无摩擦、寿命长,能耗供,尤油冷梁等优点,我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。

石墨烯高温真空烧结炉中干式真空泵,因泵腔内无需油润滑或水密封,泉腔内完全无油,因此,螺杆真空泵在半导体,电子工业山至求无油洁净真空的场合以及化工制约中对滘剂的回收工艺等具有不可比拟的优势,另外在干燥过程中旋台泵的换油频繁及寿命问题也可得到解决,所以石墨烯高温真空烧结炉中螺杆真空泵可广泛替代旋片式真空泵,滑阀式真空泵,水环式真空泵,水喷射真空泵,往复式真空泵,罗茨水环真空机组等。

石墨烯高温真空烧结炉中螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵,多个导程的螺杆泵相当于多级泵串联,相对于爪式真空泵,多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言,因石墨烯高温真空烧结炉中螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道,而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧,因此在抽除可凝性气体,带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。