不同的真空泵在真空钎焊炉中对真空度产生的影响
真空范围
如果真空钎焊炉四种不同的真空度,根据气压范围决定。在不同的真空度时,1立方厘米空间内粒子的数量。
用于高温炉的最常用的真空泵以及可达到的真空范围。真空钎焊炉的粗真空度常采用单级旋片泵。二级旋片泵可接近精真空,但效果不是很好。真空钎焊炉为了达到精真空度,旋片泵和罗茨真空泵会结合使用。真空钎焊炉要达到高真空度,需要分子泵或者和油扩散泵一起使用。
压力环境
真空钎焊炉热处理可在不同的气氛下进行,以下是四种不同的气氛环境:
真空:不同的真空泵可达到不同的真空度。
分压控制:气体充入真空钎焊炉炉膛,配合泵组,可调节真空钎焊炉炉膛内的压力。因此可实现低于大气压的特定的气流控制。
可控压力:气体通入真空钎焊炉炉膛时,形成微正压。泄压阀会释放过多的气体。
正压:气体持续通入炉膛,最高可到正压100 bar。
旋片泵
旋片泵是预抽真空泵。这是最常用的真空泵。可单个或二个一起使用。可在空气气氛下使用,其转速约每分钟1500转。抽吸腔需要油润滑。径向运动的转轮用于排出空气,可实现粗真空。单级泵仅可达到最低的精真空。
涡轮分子泵
涡轮分子泵由快速旋转的叶片和定子组成。旋转速度可超过每分钟10,000 转。利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽出空气。结合预抽真空泵,真空钎焊炉可达到较高的真空度或高真空度。真空钎焊炉对于要达到高真空或超高真空,涡轮分子泵是目前使用最方便的真空泵。运动缓慢的重颗粒或分子,相对于运动较快的轻颗粒,会更快被抽出真空钎焊炉炉膛。涡轮分子泵提供了无碳氢化合物的真空环境。因此,可使真空钎焊炉炉膛获得高纯的真空环境。
油扩散泵
油扩散泵内部没有运动部件。油扩散泵是借着高速油蒸汽流带走气体以达到抽空气分子目的。在泵的底部,油加热成蒸汽,以极高速度从泵喷口的缝隙喷出,油冷凝后可被再加热气化。油扩散泵能快速达到高真空,虽然有一些油分子会滞留在真空钎焊炉炉膛内。
罗茨泵
罗茨泵适合真空钎焊炉精真空环境下的热处理。抽吸腔不需要油润滑。两个转轮相对运动,转轮结构精确,与真空钎焊炉腔体之前几乎没有空隙。需要配合预抽真空泵一起使用。
这些是真空炉和真空钎焊炉最常用的真空泵。也可根据用户要求,提供特殊的真空系统。例如需要排出反应气氛。这些应用要求真空系统不能含有润滑油或者特殊的润滑油。一些特殊真空泵,如隔膜泵,泵,离子吸气泵,也可提供。
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