真空泵在真空烧结炉中的应用及选型

真空泵在真空烧结炉中的应用及选型

在某些真空烧结炉中的真空应用中，需要进入10-1Pa范围，这对罗茨泵的二级机组往往难于实现，而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空烧结炉中真空度提高一个数量级而进入10-1Pa，所以真空烧结炉的中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速，所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲，真空烧结炉长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵，分子增压泵可以完全取代。而真空烧结炉长时间工作在中真空高端压力范围的罗茨泵相对而言应该较少，因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。

真空烧结炉中不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往必须由一套真空机组来完成，即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度，而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然最简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组，中真空一般需要二级机组。

对于较大型的高真空烧结炉设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，所以真空烧结炉前级泵的使用时间也很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用，而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。