分子泵，真空泵及各种真空泵在高温高真空钎焊炉中的应用

分子泵，真空泵及各种真空泵在高温高真空钎焊炉中的应用

用来获得、改善和维持真空的装置称为真空泵，是获得高温高真空钎焊炉中真空的主要手段，广泛应用于机械、冶金、化工、医疗、食品、电子、半导体、能源、高能物理、航空和航天等领域中。近年来，已研制出从大气压到高真空仅用一台就能实现的新型真空泵，但一般来说，高温高真空钎焊炉为了获得高真空、超高真空及极高真空，还要采取多台真空泵构成机组来完成抽气任务。因此，了解各种真空泵在高温高真空钎焊炉中的工作原理、主要性能、结构特点等。对于正确选择经济适用的真空泵是非常重要的。

(1) 按泵的口径大小选择真空阀：

如果高温高真空钎焊炉中真空泵确定，泵的口径已定，那么被选阀门的通径应已定的口径,否则会影 响泵的抽速；

(2) 分子泵用阀选择：

分子泵是以高速转动的动叶片与静止的定叶片相对运动来抽气，它的转速每分达 几万转。动叶片与定叶片之间的间隙很小，因此分子泵要求振动小、清洁和通导 能力大的阀门。能满足这个要求的最佳选择是插板阀。

(3) 扩散泵用阀选择：

扩散泵适用于大型高温高真空钎焊炉真空系统，特别是在工艺过程中会放出大量气体的系统。因为 它抽速大、能及时抽走系统中放出的气体，保持高温高真空钎焊炉中真空室内需要的真空度，如：高温高真空钎焊炉、真空炉、钎焊炉、真 空冶金、热处理、镀膜设备等。它对阀门的要求是关闭快、密封可靠、防止泵油 氧化。扩散泵如布置在真空室侧面可选用挡板阀、翻板阀，同时可代替弯头。如 果在腔体底部则可选用插板阀，它轴向尺寸小、可降低高度，也可选用蝶阀。

(4) 机械真空阀用阀选择：

机械旋片、滑阀泵是油封的，泵腔内注满了油，如果机械泵停止工作泵腔内的油 会因为压差的原因返入真空室、对高温高真空钎焊炉的真空室造成污染。因此机械泵入口处必须安装 …个防止返油的“安全阀” 一一电磁压差阀。压差阀的作用是当泵突然失电停止 时压差阀立即关闭，同时对泵入口充入大气，使泵进出口压力平衡从而防止返油。 该阀在单晶炉上使用时由于前级没有过滤，使单晶炉中的氧化物、碳氢化合物等 进入阀门气缸内，造成阀活塞卡死，经常需要清洗。现在压差阀为清洁型，可长 期使用。

（5）高温高真空钎焊炉真空系统前级管道用阀选择；

1.阀门口径与管径-致，不影响流导和泵的抽速；

2.阀门品种尽量•致,便于釆购、管理和维修；

3.常用可选阀门如下：

真空球阀、真空挡板阀(角通、食通)、真空蝶阀、真空隔膜阀。