扩散炉炉体

扩散炉炉体

主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与
美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号
扩散炉配套（替代进口），选用进口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅
片的扩散工艺。

产品说明：

★优质加热丝：KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…

★绝热材料：PMF T2 T3…晶体纤维等

★绝缘子：   高纯刚玉

★端口过渡环：氧化铝氧化锆等真空成型。

★控温段：3段、5段、9段控温

用途：

★半导体扩散炉烧结炉等

★满足4"-8"圆晶扩散炉"

★完整的产品系列

★进口替代

★先进的材料及制造技术，指标优异

★使用温度：室温-1400℃±0.5℃

★高温型、普通型、快速升降温型