设备用途:本设备为卧式双开门的高真空烧结炉,多温区加热,高温区制备,低温区气相沉积收集。可实现多批次出料。适用于一氧化硅等材料的高温制备及收集。 针对该类产品的大型化发展,有超大、超长规格炉型可供选择,并配有安全可靠的进出料车系统。
该设备的结构设计合理,设计及制造符合相应的国家及行业标准和规范,能够满足用户的特殊使用要求。设备配套产品和元器件能够适应长期、稳定、安全、可靠的生产需求。设备的节能效果好。使用、操作、维修方便简捷,造型美观,安全可靠,售后服务优良。
设备的功能、配置及系统组成:
此设备由炉壳、加热室、真空系统,充放气系统、水冷系统、气动系统、电控系统等组成。
高真空高温烧结炉炉体:
炉子结构形式为卧式前后开门结构,采用双层夹壁水冷结构设计,内外层及法兰采均采用304不锈钢板,炉体内所有金属结构件均采用不锈钢;炉内所有金属结构件及外围水管均采用不锈钢;前后炉门保温层采用气缸推拉开关门结构。